СВЧ-МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПОДЛОЖКАХ

April 3, 2012 by admin Комментировать »

Усанов Д. А., Скрипаль А. В., Абрамов А. В., Боголюбов А. С. Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского ул. Московская, 155, Саратов – 410026, Россия Тел.:+7 (8452) 514563; e-mail: usanovda@info.sgu.ru Московский государственный институт электронной техники ГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ

Аннотация – Проведены теоретические и экспериментальные исследования взаимодействия излучения микроволнового диапазона с металлополупроводниковыми структурами. Разработан и реализован СВЧ-метод измерения толщины металлических пленок на полупроводниковых пластинах, позволяющий контролировать параметры металлических слоев в диапазоне толщин от 5 нм до 200 нм.

I.  Введение

При реализации СВЧ-методов измерения толщины и электропроводности металлических слоев на полупроводниковых пластинах, основанных на взаимодействии электромагнитного излучения с металлополупроводниковыми и металлодиэлектрическими структурами, измеряются интенсивности прошедшей и отраженной волн [1-4].

II.  Основная часть

Рассмотрим волноводный метод измерения толщины тонкого (частично пропускающего СВЧ-излучение) металлического слоя на полупроводниковой подложке. Пусть в прямоугольном металлическом волноводе, содержащем полупроводниковую пластину с нанесенным металлическим слоем, полностью заполняющую поперечное сечение волновода, распространяется волна основного типа Я10 . Исследуемая структура толщиной t состоит из металлического слоя ТОЛЩИНОЙ U С ЭЛеКТрОПрОВОДНОСТЬЮ <7j и подложки толщиной t2 с электропроводностью сг2ис– 1)-

Источник: Материалы Международной Крымской конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии»

Оставить комментарий

микросхемы мощности Устройство импульсов питания пример приемника провода витков генератора выходе напряжение напряжения нагрузки радоэлектроника работы сигнал сигнала сигналов управления сопротивление усилитель усилителя усиления устройства схема теория транзистора транзисторов частоты